YUPQA BASI₂ PLYONKASINI ION-PLAZMA USULIDA HOSIL QILISH VA UNING TERMOELEKTRIK XOSSALARINI TADQIQ QILISH

Ushbu tezisda bariy disilitsid (BaSi₂) asosidagi yupqa plyonkalarni ion-plazma usulida hosil qilish va ularning termoelektrik xossalarini tadqiq etish masalalari ko'rib chiqilgan. BaSi₂ tarkibida nisbatan keng tarqalgan elementlardan tashkil topgan yarimo'tkazgich material bo'lib, uning elektr transport xususiyatlari va past issiqlik o'tkazuvchanligi termoelektrik material sifatida foydalanish imkoniyatlarini o'rganishga asos bo'ladi. Tadqiqotda yupqa plyonkalarni RF magnetron purkash usulida olish, ularning strukturaviy, morfologik va elektr xususiyatlarini aniqlash hamda termoelektrik parametrlarini baholashning asosiy yondashuvlari tahlil qilinadi.