Absolute Formmessung

Abstrakt Messergebnisse, die durch eine dokumentierte, ununterbrochene Kette von Kalibrierungen auf eine Referenz bezogen werden zu können, werden als metrologisch rückführbar bezeichnet. In diesem Beitrag gibt der Autor einen Überblick über seine langjährigen Erfahrungen und Ergebnisse absoluter Kalibrierungen aus mehreren Projekten der Topographiemessung. Am Beispiel der Messung der Profilabweichung eines 250 mm lagen Planspiegels wird der Begriff der absoluten Kalibrierung verdeutlicht. Im Weiteren wird dargestellt, wie dieses Prinzip auf die Messung der Gestaltabweichung ebener Normalspiegel für Nanopositionier- und Nanomessmaschinen und für die Kugeln der Tastsysteme solcher Präzisionsmessmaschinen angewendet werden kann. Der Artikel beleuchtet damit einige jener Spezialfälle der metrologischen Rückführung bei der Messung von Gestaltabweichungen, bei denen ein mathematisches Modell als Bezugsreferenz selbst Anwendung finden kann.