トモグラフィー発光分光法およびラングミュアプローブ計測によるアルゴン二周波誘導結合プラズマの電子温度と密度の診断

トモグラフィー発光分光法およびラングミュアプローブ計測によるアルゴン二周波誘導結合プラズマの電子温度と密度の診断, Electron Temperature and Density Diagnosis in Argon Dual-Frequency ICP by Tomographic Optical Emission Spectroscopy and Langmuir Probe Measurements

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Journal
Tokyo Tech Research Repository (Tokyo Institute of Technology)
Published
2024-11-19
Primary Topic
Integrated Circuits and Semiconductor Failure Analysis
Type
article
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トモグラフィー発光分光法およびラングミュアプローブ計測によるアルゴン二周波誘導結合プラズマの電子温度と密度の診断

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Integrated Circuits and Semiconductor Failure Analysis
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Abstract

トモグラフィー発光分光法およびラングミュアプローブ計測によるアルゴン二周波誘導結合プラズマの電子温度と密度の診断, Electron Temperature and Density Diagnosis in Argon Dual-Frequency ICP by Tomographic Optical Emission Spectroscopy and Langmuir Probe Measurements

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