Tsifrovoe ustroistvo peremeshcheniia obraztsov i ego ispytanie v vakuumnoi tekhnologicheskoi ustanovke

в статье рассматривается цифровое устройство с шаговым двигателем для проведения технологических операций с перемещением образцов в вакуумной камере. Автором рассчитаны параметры устройства, сконструированы блок управления и электромеханическая часть. Проведена апробация устройства в вакуумной камере установки вакуумной дуги ВДУ в лаборатории ННЛОТ. Далее, устройство использовалось для заданного времени экспонирования образцов под плазменным потоком для напыления тонких покрытий. По результатам экспериментов изучены зависимости в структуре полученных покрытий и рассчитаны физические параметры осаждения в зависимости от времени экспонирования. Наблюдаемые характеристики покрытия связываются с процессом кластеризации структурных элементов покрытия.